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『簡體書』MEMS压力传感器理论与技术

書城自編碼： 3901990
分類：簡體書→大陸圖書→工業技術→一般工业技术
作者： 蒋庄德 等 著
國際書號(ISBN)： 9787040604689
出版社： 高等教育出版社
出版日期： 2023-08-01

頁數/字數： /
書度/開本： 16开 釘裝： 平装

售價：HK$ 113.9

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內容簡介：
微机电系统（MEMS）具有尺寸微小、片内集成、批量制造、材料宽泛的技术特征，因而成为先进传感器技术的主流发展方向。微型化、智能化和网络化的压力传感器在高端装备、智能制造、机器人、物联网等新兴领域具有很大的应用潜力。 本书将作者团队多年来在该领域的科研积累融为一炉，从相关基础理论出发，论述了MEMS压力传感器的主流工艺、器件静动态测试、芯片电路等关键技术，并详细讨论了多种原创、特种、高端的MEMS压力传感器件，对我国MEMS压力传感器的科研和产业发展将产生巨大的推动作用。本书适合MEMS及传感器领域的研究生、高年级本科生以及广大科研人员阅读和参考。

 

 

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