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| 內容簡介： |
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《MEMS光纤声压传感器技术》首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；后对传感器的性能进行详细的测试。
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| 目錄：
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目录前言1 绪论 11.1 MEMS光纤声压传感技术简介 21.2 MEMS光纤声压传感器领域现存主要问题 41.3 本书主要内容 52 MEMS光纤声压传感器光学原理分析 72.1 F-P干涉仪基本原理 72.1.1 标准F-P腔的干涉谱分析 72.1.2 光纤F-P腔的干涉谱分析 92.2 光束传输损耗模型分析 102.2.1 间隔损耗理论分析 112.2.2 倾斜、错位损耗理论分析 142.2.3 传输损耗对干涉条纹的影响 152.3 MEMS光纤声压传感器解调技术 172.3.1 强度解调 172.3.2 相位解调 362.4 本章小结 453 MEMS光纤声压传感器力学原理分析 473.1 膜片振动性能分析 473.1.1 自由振动的解 483.1.2 受迫振动的解 503.1.3 特殊情形的解 513.2 MEMS光纤声压传感器的等效电路模型 543.2.1 电-力-声线路类比 553.2.2 声学元件阻抗表达式 593.3 MEMS光纤声压传感器的声学性能仿真 633.3.1 膜片半径对传感器性能的影响 653.3.2 膜片厚度对传感器性能的影响 663.3.3 腔体体积对传感器性能的影响 683.3.4 膜片内应力对传感器性能的影响 693.3.5 连通孔尺寸对传感器性能的影响 703.3.6 空气腔对水听器的增敏作用研究 733.3.7 常见膜片材料对传感器性能的影响 743.4 本章小结 764 MEMS光纤声压传感器膜片加工技术 774.1 声压敏感膜片材料研究现状 774.1.1 硅基材料 774.1.2 金属材料 814.1.3 二维材料 824.1.4 有机材料 834.2 声压敏感膜片结构研究现状 844.2.1 凸台结构 854.2.2 纹膜结构 874.3 声压敏感膜片加工技术研究 914.3.1 金属平膜膜片加工 914.3.2 金属纹膜膜片加工 944.3.3 PET纹膜膜片加工 984.4 本章小结 1025 MEMS光纤声压传感器结构设计与加工 1035.1 F-P腔结构研究现状 1035.1.1 同轴型结构 1035.1.2 垂直轴型结构 1035.2 MEMS光纤麦克风结构设计与加工 1045.2.1 同轴型MEMS光纤麦克风结构设计与加工 1045.2.2 垂直轴型MEMS光纤麦克风结构设计与加工 1065.2.3 长腔长型MEMS光纤麦克风结构设计与加工 1085.3 MEMS光纤水听器结构设计与加工 1105.3.1 MEMS光纤水听器研究现状 1115.3.2 MEMS光纤水听器结构设计及加工步骤 1125.3.3 MEMS光纤水听器加工结果 1155.4 本章小结 1166 MEMS光纤声压传感器性能测试 1176.1 声学实验测试原理、系统及方法简介 1176.1.1 光纤声压传感器信号解调系统 1176.1.2 声学实验测试装置 1206.1.3 光纤声压传感器测量参数简介 1236.2 MEMS光纤麦克风声学性能测试 1266.2.1 同轴型平膜MEMS光纤麦克风声学性能测试结果 1266.2.2 同轴型纹膜MEMS光纤麦克风声学性能测试结果 1286.2.3 长腔长型MEMS光纤麦克风声学性能测试结果 1346.2.4 垂直轴型MEMS光纤麦克风声学性能测试结果 1376.3 MEMS光纤水听器声学性能测试 1396.3.1 水腔PET平膜MEMS光纤水听器声学性能测试结果 1396.3.2 空气腔PET平膜MEMS光纤水听器声学性能测试结果 1416.3.3 PET纹膜MEMS光纤水听器声学性能测试结果 1446.3.4 银膜片MEMS光纤水听器声学性能测试结果 1516.4 本章小结 1547 总结 155参考文献 157索引 168
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