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『簡體書』硅MEMS工艺与设备基础

書城自編碼: 3321928
分類:簡體書→大陸圖書→工業技術一般工业技术
作者: 阮勇,尤政
國際書號(ISBN): 9787118117400
出版社: 国防工业出版社
出版日期: 2019-03-01


書度/開本: 16开 釘裝: 平装

售價:HK$ 216.0

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內容簡介:
阮勇、尤政编著的《硅MEMS工艺与设备基础MEMS与微系统系列微米纳米技术丛书》在第1章首先介绍MEMS器件的硅MEMS基本工艺、器件和新材料,在此基础上,第2章阐述MEMS工艺设计规则与工艺误差,第3章至第8章阐述硅MEMS单项工艺,介绍相关工艺原理与典型设备,第9章分析列举了典型的硅MEMS器件结构的工艺制备,第10章和第11章介绍圆片键合和封装技术,第12章围绕工艺中的参数讨论了检测技术,附录部分对于真空技术、相关药品与安全防护进行总结。本书详细介绍了硅MEMS器件所需的工艺与设备,能够让MEMS研究人员对硅MEMS工艺技术及其主要设备与环境有全面了解。全书主要特色是将工艺原理、设备与实验案例贯通统一考虑,详细讨论典型MEMS器件工艺原理和方法与设备、安全防护、动力系统。各章节工艺的支撑均基于实际46英寸①半自动设备和技术,适合从事MEMS技术研究的工程技术人员参考,使MEMS教学与研究人员能够在设计规划之初将设计与工艺实践结合起来,使MEMS器件的开发高效顺畅:同时力图将MEMS器件研究中困扰的问题,从设备、工艺源头给予解释阐述。本书也可用做高等学校相关专业微机电系统课程教材。

 

 

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